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硅在沼氣中以硅氧烷的形式存在，在燃燒的過程中發生如下化學反應：（（CH3）2SIO）3+12O2→3SIO2+6CO2+9H2O，從而轉化為微晶二氧化硅（俗稱石英）。這種微小的二氧化硅顆粒沉積在設備表面，可以在幾小時內形成一層石英砂覆蓋層，對氣缸、火花塞、閥門和氣缸及渦輪增壓機等造成嚴重破壞，從而縮短發電機組的壽命。同時，該覆蓋層具有絕緣性且阻礙熱傳導，會嚴重干擾各類傳感線的信號。歐洲國家較早開展了有關硅氧烷的研究，并已形成完備的技術與應用體系。其沼氣動力設備行業均已制定了相關的行業或企業標準，這些標準對于周期中的硅含量遠超硫化氫的更為嚴苛的濃度要求。
